設備通過測試得到保護結構在ESD脈沖作用下的I-V特性曲線和開啟電壓、維持電壓、維持電流、二次擊穿電流等關鍵電參數，從而驗證ESD保護結構是否達到設計要求。通過測試得到電路端口在ESD脈沖下的I-V特性曲線和開啟電壓、維持電壓、維持電流、二次擊穿電流等電參數，從而可分析集成電路的抗ESD特性。通過對研究對象施加TLP應力，分析研究對象在ESD應力下的特性變化和失效機理。

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